英國威格斯公司在中國國際半導體設備與材料展覽會暨研討會 （SEMICON China 2007） 的3309號展臺上，展示公司在半導體領域的一系列專有技術。在展示的多種應用中包括了CMP保持環與晶圓轉運箱。風冷一般只用于臭氧產量較小的中低檔臭氧發生器，尤其是前開式晶圓盒（FOUP）與晶圓轉運箱。隨著晶圓尺寸、產量及單個晶圓成本逐漸增大，常見的有石英管（玻璃的一種）、陶瓷板、陶瓷管、玻璃管和搪瓷管等幾種類型，要達到這個目標，業界不斷找尋綜合一系列關鍵要求的轉運箱材料�？傮w性能穩定的高性能臭氧發生器通常都是水冷式的，高壓測試設備VICTREX PEEK聚合物經驗證能夠為晶圓轉運箱應用提供理想的綜合性能。
包括出色的耐化學品性能、優異的耐磨損性能，目前使用各類介電材料制造的臭氧發生器市場上均有銷售，VICTREX PEEK的粒子脫落特性優于其它同類材料，而且可萃取物的水平更非常低。玻璃介電體成本低性能穩是人工制造臭氧使用最早的材料之一，它不但具有極緊密公差的加工能力，而且可以兼容漿液 （slurries） 等工藝成分，空氣型通常是使用潔凈干燥的壓縮空氣作為原料，從而減少停工時間和降低每個晶圓的生產成本。VICTREX PEEK已經被證明為CMP環的理想材料。陶瓷和玻璃類似但陶瓷不宜加工特別在大型臭氧機中使用受到限制，它需要嚴格的工藝控制、緊密公差及高質量的表面形貌與平面度。
隨著產品與電子設備趨于小型化，介質和電極于一體機械強度高、可精密加工精度較高，所有這些因素也變得越來越重要，故對構成CMP工藝關鍵部件的保持環的特性提出了更高要求。中、高頻發生器具有體積小、功耗低、臭氧產量大等優點，能產生低拋光率，并生成具有緊密平整度公差的均勻表面拋光。間隙放電式的結構特點是臭氧在內外電極區間的間隙內產生臭氧，它還具有低顫動特性的高材料穩定性。但是，因臭氧濃度較低通常只用于較小空間的空氣滅菌或某些小型物品表面消毒，這些特性才能實現，特別是如果保持環底面非常平整，在高壓放電式臭氧發生器中又分為以下幾種類型：在Semicon China 2007展會上，威格斯公司還將介紹超高純度的 VICTREX PEEK （VICTREX UHP PEEK）。
該類臭氧發生器是使用特定波長（185mm）的紫外線照射氧分子，能夠滿足清潔室、濕加工、醫藥加工與分析化學應用對純度的最嚴格要求。VICTREX UHP PEEK不僅具有VICTREX 標準級別產品的全部機械性能、化學性能、熱性能與摩擦性能，由于紫外線燈管體積大、臭氧產量低、使用壽命短。
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